等离子体放电由局部电离的气体组成,其中产生的带电物质表现出集体行为。从所涉及物种的高电离和高能水平的观点来看,它被认为是物质的第四种状态。在特定条件下,等离子体放电的特征在于“热”自由电子与限定气体温度的其余重物质(原子,离子,分子和自由基)之间缺乏热平衡。由于与“热”自由电子的相互作用,这使得在室温下诱导高能化学反应(例如2CO 2→2CO + O 2(135kcal / mol)成为可能。
因此,等离子体过程是存在于微电子元件的不同制造步骤中,包括最终精细去除光刻胶残留物。另一方面,等离子体处理方法也用于增加表面润湿性,从而在倒装芯片包装过程中显着改善底部填充 。类似地,等离子体放电用于在灌封和封装之前激活印刷电路板。此外,它们还可用于金接触的脱氧,以改善导线接合。
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