等离子体放电由局部电离的气体组成，其中产生的带电物质表现出集体行为。从所涉及物种的高电离和高能水平的观点来看，它被认为是物质的第四种状态。在特定条件下，等离子体放电的特征在于“热”自由电子与限定气体温度的其余重物质（原子，离子，分子和自由基）之间缺乏热平衡。由于与“热”自由电子的相互作用，这使得在室温下诱导高能化学反应（例如2CO 2→2CO + O 2（135kcal / mol）成为可能。
因此，等离子体过程是存在于微电子元件的不同制造步骤中，包括最终精细去除光刻胶残留物。另一方面，等离子体处理方法也用于增加表面润湿性，从而在倒装芯片包装过程中显着改善底部填充 。类似地，等离子体放电用于在灌封和封装之前激活印刷电路板。此外，它们还可用于金接触的脱氧，以改善导线接合。
